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MX63系列的各種觀察功能可生成清晰銳利的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M(jìn)行可靠的缺陷檢測(cè)。全新照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項(xiàng)為用戶評(píng)估樣品和存檔檢測(cè)結(jié)果提供更多選擇。
通過將暗場(chǎng)與諸如明場(chǎng)、熒光或偏光等其他觀察方法結(jié)合使用，MIX觀察技術(shù)能夠獲得獨(dú)有的觀察圖像。MIX觀察技術(shù)可讓用戶發(fā)現(xiàn)用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。暗場(chǎng)觀察所用的環(huán)形LED照明器具有在時(shí)間僅使用四分之一象限的定向暗場(chǎng)功能。該功能可減少樣品光暈，對(duì)于樣品表面紋理的可視化非常有用。
半導(dǎo)體晶圓上的結(jié)構(gòu)
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集成電路圖形不夠清晰。 |
晶圓顏色不可見。 |
晶圓顏色和集成電路圖形均清晰可辨。 |
半導(dǎo)體晶圓上的光刻膠殘留物
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樣品本身不可見。 |
殘留物不清晰。 |
集成電路圖形和殘留物均清晰可辨。 |
聚光鏡
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表面受到反射。 |
來自不同角度定向暗場(chǎng)的多幅圖像。 |
將沒有光暈的清晰圖像拼接在一起，創(chuàng)建樣品的單幅清晰圖像。 |
利用多圖像拼接(MIA)功能, 用戶移動(dòng)手動(dòng)載物臺(tái)上的XY旋鈕即可輕松快速完成圖像拼接—電動(dòng)載物臺(tái)無需進(jìn)行該操作。奧林巴斯Stream軟件利用模式識(shí)別生成全景圖像，讓用戶獲得更寬的視場(chǎng)。
即時(shí)MIA圖像
奧林巴斯Stream軟件的景深擴(kuò)展成像(EFI)功能可采集高度超出物鏡焦點(diǎn)深度的樣品圖像，并可將其合成一幅全聚焦圖像。EFI配合手動(dòng)或電動(dòng)Z軸調(diào)焦使用，可輕松實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)可視化的高度圖像。其也可在Stream桌面版（Desktop）離線情況下生成EFI圖像。
集成電路芯片上的凸塊
采用先進(jìn)圖像處理技術(shù)的高動(dòng)態(tài)范圍(HDR)可在圖像內(nèi)調(diào)整亮度差異，從而減少眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺品質(zhì)，從而有助于生成具有專業(yè)級(jí)外觀的報(bào)告。
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某些部位存在眩光。 |
暗光區(qū)域和明亮區(qū)域利用HDR獲得清晰呈現(xiàn)。 |
TFT陣列因?yàn)V色片的亮度而漆黑一片。 |
TFT陣列利用HDR獲得呈現(xiàn)。 |
測(cè)量對(duì)于品質(zhì)、工藝控制和檢測(cè)非常重要。基于這一想法，即便是入門級(jí)奧林巴斯Stream軟件包也融入了交互測(cè)量功能的全部菜單，并且所有測(cè)量結(jié)果與圖像文件一起保存以便存檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復(fù)雜圖像分析提供面向工作流的直觀界面。點(diǎn)擊按鈕一下，圖像分析任務(wù)即可快速精準(zhǔn)完成。在大幅度縮減重復(fù)性任務(wù)的處理時(shí)間情況下，操作人員可以將精力集中在手邊的檢測(cè)工作上。
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基本測(cè)量（印刷電路板上的圖形） |
分散能力解決方案（PCB通孔的橫截面） |
自動(dòng)測(cè)量解決方案（晶圓結(jié)構(gòu)） |
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創(chuàng)建報(bào)告所用的時(shí)間常常比采集圖像和測(cè)量還長(zhǎng)。奧林巴斯Stream軟件提供了直觀的報(bào)告創(chuàng)建功能，能夠根據(jù)預(yù)先設(shè)定的模板多次創(chuàng)建專業(yè)復(fù)雜的報(bào)告。編輯非常簡(jiǎn)單，報(bào)告可導(dǎo)出為MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外，奧林巴斯Stream報(bào)告功能能夠?qū)Σ杉膱D像進(jìn)行數(shù)字變焦和倍率放大。報(bào)告文件大小適中，通過電子郵件進(jìn)行數(shù)據(jù)傳遞更加方便。
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利用DP22或DP27顯微鏡相機(jī)，MX63系列即可成為先進(jìn)的獨(dú)立系統(tǒng)。該相機(jī)采用幾乎不占空間的緊湊型控制盒進(jìn)行控制，在采集清晰圖像以及進(jìn)行基本測(cè)量工作的同時(shí)讓實(shí)驗(yàn)室空間得到充分利用。
相機(jī)控制盒
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MX63系列專為潔凈室工作而設(shè)計(jì)，并具有幫助很大限度減小樣品污染或受損風(fēng)險(xiǎn)的功能。該系統(tǒng)采用人體工學(xué)設(shè)計(jì)，可幫助用戶在長(zhǎng)時(shí)間使用中保持舒適。MX63系列符合包括SEMI S2/S8、CE和UL國(guó)際規(guī)范及標(biāo)準(zhǔn)要求。
選配的晶圓搬送機(jī)可安裝在MX63系列上，實(shí)現(xiàn)無需使用鑷子或工具即可安全地將硅片及化合物半導(dǎo)體晶圓從片盒轉(zhuǎn)移到顯微鏡載物臺(tái)上。好的性能和可靠性可實(shí)現(xiàn)安全高效的前后宏觀檢測(cè)，同時(shí)搬送機(jī)還可幫助提高實(shí)驗(yàn)室工作效率。
MX63系統(tǒng)與AL120晶圓搬送機(jī)結(jié)合使用(200毫米型號(hào))
* AL120 未在歐洲、中東、非洲地區(qū)（EMEA）銷售。
MX63系列可實(shí)現(xiàn)無污染的晶圓檢測(cè)。所有電動(dòng)組件均安裝在防護(hù)結(jié)構(gòu)殼內(nèi)，顯微鏡鏡架、鏡筒、呼吸防護(hù)罩、及其他部件均采用防靜電處理。電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的轉(zhuǎn)速比手動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器更快更安全，縮短檢測(cè)間隔時(shí)間的同時(shí)，讓操作人員的手始終保持在晶圓下方，避免了潛在的污染。
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防靜電呼吸防護(hù)罩 |
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器 |
利用內(nèi)置離合和XY旋鈕，XY載物臺(tái)能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)載物臺(tái)移動(dòng)的粗調(diào)和微調(diào)。即便針對(duì)諸如300毫米晶圓這樣的大尺寸樣品，載物臺(tái)也可幫助實(shí)現(xiàn)高效的觀察
可調(diào)傾角觀察鏡筒的調(diào)節(jié)范圍可讓操作人員以舒適的姿態(tài)坐在顯微鏡前工作。
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帶有內(nèi)置離合的載物臺(tái)手柄 |
可調(diào)傾角觀察鏡筒可確保舒適的工作姿態(tài) |
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晶圓支架和玻璃板 |
該系統(tǒng)可配合各類150–200毫米和200– 300毫米晶圓支架和玻璃板使用。如果生產(chǎn)線上的晶圓尺寸發(fā)生變化，以很少的成本即可更改顯微鏡鏡架。有了MX63系列，各種載物臺(tái)均可用于檢測(cè)75毫米、100毫米、125 毫米和150毫米晶圓。 |
