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        HMDS預(yù)處理真空烘箱

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        產(chǎn)品價(jià)格: /人民幣 
        最后更新: 2025-08-29 09:53:48
        產(chǎn)品產(chǎn)地: 江蘇昆山市
        發(fā)貨地: 本地至全國 (發(fā)貨期:當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
        供應(yīng)數(shù)量: 不限
        有效期: 長期有效
        最少起訂: 1
        瀏覽次數(shù): 50
        詢價(jià)  試用會(huì)員產(chǎn)品
      1. 公司基本資料信息
      2.  
        產(chǎn)品詳細(xì)說明
        HMDS烘箱,晶圓涂膜HMDS真空烘箱系列電腦式HMDS真空烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前預(yù)處理,增黏劑HMDS涂覆作業(yè)。本設(shè)備適用于在涂膠前對(duì)晶片進(jìn)行預(yù)處理,集真空、烘烤、充氮、潔凈、HMDS加液多功能與一體。設(shè)備由箱體、真空、加熱、充氮、加液及控制等系統(tǒng)組成。通過多次預(yù)抽真空,充氮加熱循環(huán)進(jìn)行,既能達(dá)到使硅片表面干燥、潔凈的效果,又能夠防止硅片的氧化和雜質(zhì)的擴(kuò)散,并且可以通過加液系統(tǒng)在硅片表面開成HDMS保護(hù)膜,從而使硅片具有良好的涂膠性能。和手工涂布HMDS相比,具有重復(fù)性好,節(jié)省藥液,環(huán)保,對(duì)人體無害的顯著優(yōu)點(diǎn);也可用于晶片其它工藝的清洗。
        設(shè)備型號(hào) HMDS-90
        溫度范圍 RT+25~200°C
        溫度分辨率 ±0.1°C
        極限真空度 <10pa
        抽氣速率 4L/S  常壓~100pa時(shí)間<5min
        氧含量

        <10ppm

        潔凈度 class10
        控制方式 PLC+觸摸屏(人機(jī)交互界面)
        內(nèi)腔尺寸 W450mm*D450mm*H450mm
        氮?dú)饬髁?/span> 0-100L/min
        電源功耗 AC220V    50HZ     4.5KW
        箱體 3mm優(yōu)質(zhì)SUS316#潔凈不銹鋼內(nèi)膽
        外殼 SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆
        保溫材料 環(huán)保無油型陶瓷纖維防火阻燃材料
        安全保護(hù)措施 1.接地保護(hù)     2.過載保護(hù)      3.超溫保護(hù)

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