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愛發(fā)科ULVAC干法去膠機Ashing System

產(chǎn)品價格：	0/人民幣
最后更新：	2017-08-02 10:37:26
產(chǎn)品產(chǎn)地：	日本
發(fā)貨地：	上海 (發(fā)貨期：當天內(nèi)發(fā)貨)
供應數(shù)量：	不限
有效期：	長期有效
最少起訂：	1
瀏覽次數(shù)：	409

公司基本資料信息

上海瞻馳光電科技有限公司
王曉玉小姐
會員[試用會員產(chǎn)品]
郵件Jade.wang@yoshi.co.jp
手機15300099033
電話
傳真
地址上海市松江區(qū)城隆路629弄3號522室

產(chǎn)品詳細說明

應用領域：IC，MEMS，LED，IGBT，SiC　Power　Device

設備特點：

一體化設計，可對應各種晶圓尺寸＆不同尺寸晶圓混合搬送

對應工藝范圍廣：從下一代有機膜工藝到氧化膜/SiN的刻蝕

利用微波電源，低溫工藝，實現(xiàn)無損傷工藝

維護保養(yǎng)周期長：6個月（實際值）

易于維護和工藝腔清洗時間短（30分鐘）

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