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從所周知一片晶圓的產(chǎn)生需要經(jīng)過漫長復(fù)雜的工藝制作而成，如果保護不好對晶圓片造成了劃傷、缺口對下一道工序影響非常的大，甚至片晶圓片報廢。這個情況是相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)非常不愿意看到的結(jié)果，所以在晶圓切割的時候?qū)A片的保護顯得格外的重要。晶圓框架盒可以避免晶圓隨意滑動，避免膠帶的皺摺與晶粒之相互碰撞，有效的保護晶圓片的完整度，同時便于周轉(zhuǎn)搬運。經(jīng)過精密設(shè)計的12寸晶圓框架盒產(chǎn)品完美符合DISCO/ks切割機的行程工藝要求，質(zhì)優(yōu)價廉，深受半廣大半導(dǎo)體企業(yè)的青睞。
東虹鑫12寸晶圓框架盒（wafer frame cassette）選用進口鋁材經(jīng)過CNC加工設(shè)備加工而成精準(zhǔn)度高達0.02mm，平整度高，表面光滑無毛刺。再經(jīng)過氧化處理讓晶圓框架盒的耐蝕性、硬度、耐磨性、絕緣性、耐高溫的性能大大提高，使得晶圓框架盒的使用壽命更長。
12寸晶圓框架盒的參數(shù)：
材質(zhì)：進口鋁材
尺寸：394*388*193 mm
槽數(shù)：13槽
槽距：10 mm
槽寬：8 mm
槽深：9.3 mm
內(nèi)存晶圓寬帶：381.8 mm
