LEYBOLD萊寶TW系列復合分子泵

LEYBOLD萊寶TW系列復合分子泵
抽速： 70 ～ 1600 升 / 秒
極限真空度： 10 － 9 mbar
最大允許前級壓強： 6 ～ 14mbar
主要特點有：
- 轉子葉片為一次成型，消除了葉片應力，使得前級耐壓高達 14mbar ，并能抵抗短暫的大氣沖擊。
-高效的風冷系統，使其在絕大多數工作條件下無需冷水。
- 變頻器與泵體的一體化設計，避免了連接變頻器帶來的不便。
- 模塊化的設計為用戶提供了多種選擇。
- 結構緊湊，可方便地安裝到復雜的系統中。
- 可以任意角度安裝。
- 螺旋式的拖動級耐粉塵能力強。
- 軸承為油脂潤滑，無維護運行時間長。
- 無油真空泵，可用來產生潔凈的高真空和超高真空。
- 可在軸承需要維護時提前預警。
- 通過通訊接口可以與掌上電腦， PC 或 PLC 聯絡，以讀取分子泵工作狀態的參數，以及儲存單元的運行記錄；并可根據需要對某些參數進行修改，如頻率等。
- 高前級耐壓降低了對前級泵的要求，使得系統總體造價降低。

新一代數字化控制，五軸定位的磁懸浮分子泵
MAG 1500C/CT ， MAG2000C/CT ， MAG2200C/CT ， MAG 2800C/CT ， MAG 3200C/CT
抽速： 1500l/s ～ 3200l/s
• 五軸定位雙端磁懸浮軸承系統，自平衡性能好全無油，耐粉塵、抗氣流沖擊。
• 轉子采用高強度鋁合金，一次高速銑削成形，應力小，強度高，耐沖擊，高溫變形量小，轉子葉片不易卷曲、打碎；轉子長期運行溫度可高達 120 ℃ 。
• 轉子及定片均采用萊寶專利技術的 KAPLAR 涂層
• 較鍍鎳的轉子具有更強的防腐蝕性能，適用于抽除腐蝕性強的工藝氣體；
• 降低氣流與轉子葉片摩擦產生的熱量，降低轉子運行溫度，有利于延長轉子壽命；
• 葉片鍍 KAPLAR 的轉子較鍍鎳的轉子重量更輕。
• 保護軸承為陶瓷軸承，壽命長（ >600 次），無需更換保護軸承。
• 高真空端連接采用 ISO-F ，連接螺栓強度高，充分保障安全。
• 智能化電源，無需 UPS 。
• 帶拖動級，前級耐壓在 2mbar 以上。
• 分子泵運行溫度可調節，使其充分適應不同工藝制程。
• 最先進的數字控制技術
• 運行速度、溫度可設置；
• 運行數據記錄存儲，提供多達 180 條運行信息；
• 磁懸浮軸承及泵運行溫度采用數字化控制，信號處理速度快，系統反應時間短
• 轉子受氣流沖擊或雜物不均勻沉積在葉片而使轉子動平衡變化時，磁場補償反應時間短；
• 在氣流長時間（ 2 分鐘以上）過大，而使泵負載過高，發熱量過大時，泵速會快速自動調節，使泵溫下降到正常水平。
• 控制器與泵無識別性，可互換。
• 免維護。
典型應用：
適用于
• 所有半導體主要制程：刻蝕、化學氣相沉淀及離子注入
• 科研領域
• 鍍膜
另外，萊寶公司磁懸浮分子泵系統中還包括單軸定位的 TURBOVAC340M ， MAG400 和 MAG 1000 。