功能簡介：
1 線性馬達(dá)驅(qū)動，線性光柵尺定位
a. 控制系統(tǒng)免保養(yǎng)；
b. 運(yùn)行無振動，保障測試精度；
c. 運(yùn)行速度快；
d. X、Y軸定位精度高，達(dá)±5um@3σ
2 測量精度高
a. 高度分辨率為0.4 微米；
b. 高度測量精度為±1微米；
c. 體積重復(fù)精度為±1%@3σ；
d. 體積GR&R為3.63%（OPPO實(shí)測）；
e. 掃描間距為1微米；
f. 最小可測量300 x 300 μm的錫膏；
3 采用2D+3D混合測量方式
2D光源確定錫膏平面，3D計(jì)算體積；
可以測量低于35微米的物體，比如：綠油、絲印、焊盤的高度和體積；
