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型號 |
Altia350 |
Altia600 |
Altia Premium 350 |
Altia Premium 600 |
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測量范圍 |
370mm |
620mm |
370mm |
620mm |
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應用范圍 |
450mm |
700mm |
450mm |
700mm |
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垂直度誤差 |
15um |
20um |
8um |
12um |
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最大允許誤差 |
15um |
20um |
3+L(mm)/175um | |
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重復性 |
2um |
2um | ||
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操作時間 |
100小時(不使用氣浮) |
40小時(不使用氣浮) | ||
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標準測力 |
0.8N |
0.8N | ||
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分辨率 |
0.001mm |
0.001mm | ||
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最大移動速度 |
1.5m/秒 |
1.5m/秒 | ||
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數據輸出接口 |
RS232C |
RS232C | ||
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氣浮功能 |
無 |
有 | ||
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環境溫度 |
+10℃-+40℃ |
+10℃-+40℃ | ||