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        ASC 5500自動掩模機德國SUSS

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        產品價格: 1000/人民幣 
        最后更新: 2025-12-08 13:51:46
        產品產地: 德國
        發貨地: 廣東深圳市 (發貨期:當天內發貨)
        供應數量: 不限
        有效期: 長期有效
        最少起訂: 1
        瀏覽次數: 10
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      1. 公司基本資料信息
      2.  
        產品詳細說明
        晶圓結合系統ASx系列全自動掩模機
        詳詢請致電:吳工 132,4667.5433

        ASx系列
        SUSSs ASx系列為加工掩模和250nm至90nm技術節點提供了先進的烘烤、顯影和清潔方法。其可靠性、穩定性和高性能使平臺能夠滿足無損加工掩模的要求,用于 248 nm 和 193 nm 光刻工藝。
        型號:ASC 5500、APB9500、ASP5500

        亮點:
        的第一遍清洗效果,從而延長光掩模的使用壽命
        占地面積小(1200 x 1200 mm),低總體擁有成本
        高可靠性和可用性
        已售出超過250臺Asx
        最尖端的先進烘烤技術——適合最小14 nm節點及以上
        一、先進的單基板清洗機ASC 5500
        產品特點:
        晶圓尺寸:4、6、8英寸
        小片的專用工具
        二、曝光后烘烤系統APB9500
        標準、曝光后烘烤
        符合 SEMI S2、S8、S13
        CE認證
        符合歐洲標準和機械指令 2006/42/EC、EMC- 2004/108/EC 和低電壓指令 2006/95/EC
        DIN ISO 14.644 2 級
        SECS/GEM 200/300 mm 工廠自動化標準接口
        三、顯影系統ASP5500
        采用A+噴嘴在整個掩模上連續涂布介質,使顯影的沖擊力最小化。
        顯影劑主動脫氣,可防止微氣泡的產生,實現低的缺陷計數。
        將PEB升級為含APB的集群設備
        高效的化學過濾(胺/酸)和精確的溫、濕度控制
        含SMIF裝/卸載的全自動化
        增強的工藝控制與監測功能
        與曝光后烘烤系統APB9500結合,獲得效果

        德國SUSS MicroTec主要產品:
        一、旋轉涂膠機和噴霧涂膠機:
        自動涂膠機與顯影機:ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
        半自動涂膠與顯影機:RCD8、ECD8、HP8熱板
        手動涂膠機與顯影機:LabSpin6 / LabSpin8
        二、噴墨打印機
        JETxSM24噴墨打印機、JETx噴墨打印機、LP50打印機
        三、光刻機、掩模對準機
        全自動:MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
        半自動:MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
        手動:MJB4
        四、測量系統
        全自動:DSM8/200 Gen2
        五、晶圓結合系統、自動貼片機
        全自動:XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
        半自動: BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
        六、光掩模設備
        全自動:MaskTrack Pro系列、ASx Serie
        半自動:HMx Serie
        七、投影掃描光刻機
        全自動:DSC300 Gen3
        蘇斯微SUSS MicroTec      晶圓鍵合系統   
        德國suss AS8勻膠機,HP8熱板還有labspin8(labspin6)勻膠機

        德國Polytec掃描儀、激光測振儀、光學頭、光學振動測量系統主要型號:
        激光振動計、光學測振儀
        激光多普勒測振儀
        激光測振計
        (激光)多普勒振動傳感器
        非接觸式振動傳感器/測量儀
        光學振動測量系統
        【一】單點式激光測振儀
        CLV-2534-3激光測振儀
        IVS-500 工業用激光測振儀
        VFX-F-110激光測振儀
        VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪聲光學頭
        VibroGo便攜式激光測振儀
        【二】全場掃描式激光測振儀
        VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全場掃描式激光測振儀
        PSV QTec 3D超低噪聲三維掃描式激光測振儀
        PSV QTec超低噪聲掃描式激光測振儀
        ROBOVIB 機器人測振站
        PSV-500-3D 掃描式激光測振儀:PSV-500-3D-H、PSV-500-3D-M、PSV-500-3D-HV
        PSV-500 掃描式激光測振儀:PSV-500-B增強型、PSV-500-B高分率型、PSV-500-H、PSV-500-M、PSV-500-HV
        MPV-800 多點式激光測振儀
        【三】特殊應用激光測振儀
        VibroFlex Range 超遠距離激光測振儀
        RLV-5500 旋轉式激光測振儀
        HSV-100 高速型激光測振儀
        IPV-100 面內激光測振儀
        【四】顯微式激光測振儀
        MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀 
        MSA-600 顯微式激光測振儀 :MSA-600-M (標準) MSA-600-V (帶寬擴展)
        MSA-100-3D顯微式測振儀 
        MSA-050顯微式激光測振儀
        【五】形貌測量儀
        Pro.Surf大視場3D輪廓儀
        Micro.View白光干涉儀
        關于 Polytec已停產的型號(具體停產時間可能因產品線更新而異):
        【1. 激光測振儀(Laser Vibrometers)】
        OFV-5000系列 (早期型號,已被OFV-5500/OFV-6000替代)
        OFV-3000系列 (較老版本)
        RSV-150 (遠程振動傳感系統,部分功能由新系統替代)
        【2. 工業傳感器(Industrial Sensors)】
        ILD 1400/1700 (舊版激光位移傳感器)
        ILD 2200 (早期型號,后續被ILD 2300等替代)
        OADM 12/I (舊版光學距離傳感器)
        【3. 其他光學系統】
        PSV-300/400 (掃描式激光測振儀,已被PSV-500系列取代)
        VibroFlex (某些舊型號)

        韓國Allsensor壓力變送器、壓力傳感器、數字壓力表、液位開關
        完整型號:
        P201DHV0001MMPD、P204GH0010MPAM
        P601GH0010MPET、P601SGH01MPTT、P601NGH01MPTT
        PS101DM0015KAD、PS101DM0012KAD、PS101M0015KDAD、PS100M003KGID
        P801HV0001MDAD、P400GH0010MPAT
        【一】液位計:HT100、HI4200(電容式液位傳感器),適用于工業液體監測
        液位開關系列:LS400、L201、L101、L102、L103、LT301、D400TK、HI 4200
        有防爆認證的壓力傳感器:
        P603DH-03PG-J1EKT1、P601、P400、P400S、P601S
        【二】壓力傳感器系列:
        P206、P701、P604N、P201、P201S、P204、P203
        P601N、P601RN、P601L1、P301、P202、P201D、PS101、PS100、HI4200
        【三】溫度傳感器:
        T300H0100CPET、T300RH0100CPRT、T500A0100CPE、T200H0100CPET、T203H0100CPET、T204H0100CPET、T105H0100CP、T150、HI4200數顯表
        【四】液位傳感器、液位變送器系列:
        LS400N0000TT、L201DHL4000HMFT、L101GHL1000HPAC、L102GHL1000HPAT、L103GHL1000HPBC、LT301N1000MST、D400TKXXX
        【五】食品行業用壓力傳感器:
        P601SGH0010MPUT防爆壓力傳感器
        P400SGH0010MPAT防爆壓力傳感器
        P201SGH0010MPAD隔膜壓力傳感器
        【六】隔膜閥
        FFS系列、FCS系列、EFS系列、PFS系列、PES系列、DFS系列、RFS系列
        RBS50系列、RBS80系列、DSS系列、DSI系列、STS系列、SHS系列、DRD系列、FTS系列
        P601GH0010MPET、P801HV0001MDAD、P601SGH0010MPTT/1.5S/316L/DT、PS101M0015KDAD




















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