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        ACS200 Gen3TE涂膠顯影機SUSS MicroTec

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        產(chǎn)品價格: 1000/人民幣 
        最后更新: 2025-12-08 11:36:29
        產(chǎn)品產(chǎn)地: 德國
        發(fā)貨地: 廣東深圳市 (發(fā)貨期:當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
        供應(yīng)數(shù)量: 不限
        有效期: 長期有效
        最少起訂: 1
        瀏覽次數(shù): 8
        詢價  家家通會員產(chǎn)品
      1. 公司基本資料信息
      2.  
        產(chǎn)品詳細說明
        ACS200 Gen3TE涂膠顯影機SUSS MicroTec
        ACS200 Gen3TE涂膠顯影機SUSS MicroTec
        詳詢請致電:吳工 132,4667.5433

        ACS200 Gen3 TE涂膠顯影機:最大化產(chǎn)能的全自動平臺
        SUSS ACS200 Gen3 TE平臺將ACS200 Gen3這款非常成功且市場熟知的產(chǎn)品提升到了一個新的高度。不僅在產(chǎn)能上有了顯巨提高,在操作和維護上也更加舒適。SUSS ACS200 Gen3 TE能夠提供非常靈活的模塊和技術(shù)配置,以滿足先進封裝、MEMS、LED和其他市場的要求,并為研發(fā)和HVM提供服務(wù)。
        介紹:
        基礎(chǔ)框架經(jīng)過重新設(shè)計,可配置多達6個旋轉(zhuǎn)工藝模塊,并可在這些模塊上方配置冷熱板組。此外,動態(tài)對中(IMOC)功能的引入,即晶圓傳送時的“動態(tài)”定心,進一步提高了整體產(chǎn)能。
        為了滿足最新的ESD標(biāo)準(zhǔn),并為操作員和技術(shù)人員提供更高的舒適度,該平臺已經(jīng)進行更新。第二屏幕可根據(jù)個人需要進行配置,可以用來顯示攝像頭以及設(shè)備/模塊的狀態(tài),并且可以處理測量數(shù)據(jù)。外圍配套設(shè)備也得到了顯著改進,特別是新推出的Flexi Media Cabinet,整潔、標(biāo)準(zhǔn)化程度高。
        由于采用PiXDRO技術(shù)的SUSS JETx噴墨模塊已完全集成到該平臺中,使得該平臺支持下一代材料沉積技術(shù),且仍具有添加其他模塊的能力。同時,已經(jīng)引入了標(biāo)準(zhǔn)制造接口(SMIF)加載端口。此外,流量控制器系統(tǒng)為有機溶劑和顯影工藝應(yīng)用提供了非常出色的噴液精度。
        ACS200 Gen3 TE平臺將繼續(xù)提供的敞開式腔體涂布和SUSS專有的GYRSET?閉蓋式涂布技術(shù)。廣為接受的腔體設(shè)計將保持不變,因此能夠?qū)崿F(xiàn)將工藝從之前的平臺到現(xiàn)在的輕松轉(zhuǎn)移。
        亮點:
        多達6個旋轉(zhuǎn)工藝模塊
        采用動態(tài)對中(IMOC)提高晶圓傳送效率
        超高的配置靈活性
        可實現(xiàn)自動化系統(tǒng)的噴墨技術(shù)
        操作舒適性高
        標(biāo)準(zhǔn)制造接口(SMIF)負載端口
        詳細情況 : 顯影工藝
        浸置式顯影
        噴霧顯影
        在此工藝中,一定量的顯影劑被滴在曝光后的襯底上,并通過適度的旋轉(zhuǎn)分散開。 顯影液因其表面張力在晶圓上形成凸?fàn)畹囊好妫ā癙uddle”)。 當(dāng)顯影時間結(jié)束后,通過提高旋轉(zhuǎn)速度甩干晶圓上的顯影液。 然后,用去離子水沖洗晶圓并同樣提高轉(zhuǎn)速甩干。 這種方法的優(yōu)點是,只需使用少量顯影液,就能提供優(yōu)異的顯影結(jié)果。
        浸置式顯影法不得用于顯影液達到飽和時,例如當(dāng)必須除去大量顯的光刻膠時或者凹凸圖形阻礙了更換顯影液時。 在這些情況下,需多步使用浸置式顯影或者使用噴涂式顯影 。


        德國SUSS MicroTec主要產(chǎn)品:
        一、旋轉(zhuǎn)涂膠機和噴霧涂膠機:
        自動涂膠機與顯影機:ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
        半自動涂膠與顯影機:RCD8、ECD8、HP8熱板
        手動涂膠機與顯影機:LabSpin6 / LabSpin8
        二、噴墨打印機
        JETxSM24噴墨打印機、JETx噴墨打印機、LP50打印機
        三、光刻機、掩模對準(zhǔn)機
        全自動:MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
        半自動:MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
        手動:MJB4
        四、測量系統(tǒng)
        全自動:DSM8/200 Gen2
        五、晶圓結(jié)合系統(tǒng)、自動貼片機
        全自動:XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
        半自動: BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
        六、光掩模設(shè)備
        全自動:MaskTrack Pro系列、ASx Serie
        半自動:HMx Serie
        七、投影掃描光刻機
        全自動:DSC300 Gen3
        蘇斯微SUSS MicroTec      晶圓鍵合系統(tǒng)   
        德國suss AS8勻膠機,HP8熱板還有l(wèi)abspin8(labspin6)勻膠機


        德國Polytec掃描儀、激光測振儀、光學(xué)頭、光學(xué)振動測量系統(tǒng)主要型號:
        激光振動計、光學(xué)測振儀
        激光多普勒測振儀
        激光測振計
        (激光)多普勒振動傳感器
        非接觸式振動傳感器/測量儀
        光學(xué)振動測量系統(tǒng)
        【一】單點式激光測振儀
        CLV-2534-3激光測振儀
        IVS-500 工業(yè)用激光測振儀
        VFX-F-110激光測振儀
        VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪聲光學(xué)頭
        VibroGo便攜式激光測振儀
        【二】全場掃描式激光測振儀
        VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全場掃描式激光測振儀
        PSV QTec 3D超低噪聲三維掃描式激光測振儀
        PSV QTec超低噪聲掃描式激光測振儀
        ROBOVIB 機器人測振站
        PSV-500-3D 掃描式激光測振儀:PSV-500-3D-H、PSV-500-3D-M、PSV-500-3D-HV
        PSV-500 掃描式激光測振儀:PSV-500-B增強型、PSV-500-B高分率型、PSV-500-H、PSV-500-M、PSV-500-HV
        MPV-800 多點式激光測振儀
        【三】特殊應(yīng)用激光測振儀
        VibroFlex Range 超遠距離激光測振儀
        RLV-5500 旋轉(zhuǎn)式激光測振儀
        HSV-100 高速型激光測振儀
        IPV-100 面內(nèi)激光測振儀
        【四】顯微式激光測振儀
        MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀 
        MSA-600 顯微式激光測振儀 :MSA-600-M (標(biāo)準(zhǔn)) MSA-600-V (帶寬擴展)
        MSA-100-3D顯微式測振儀 
        MSA-050顯微式激光測振儀
        【五】形貌測量儀
        Pro.Surf大視場3D輪廓儀
        Micro.View白光干涉儀
        關(guān)于 Polytec已停產(chǎn)的型號(具體停產(chǎn)時間可能因產(chǎn)品線更新而異):
        【1. 激光測振儀(Laser Vibrometers)】
        OFV-5000系列 (早期型號,已被OFV-5500/OFV-6000替代)
        OFV-3000系列 (較老版本)
        RSV-150 (遠程振動傳感系統(tǒng),部分功能由新系統(tǒng)替代)
        【2. 工業(yè)傳感器(Industrial Sensors)】
        ILD 1400/1700 (舊版激光位移傳感器)
        ILD 2200 (早期型號,后續(xù)被ILD 2300等替代)
        OADM 12/I (舊版光學(xué)距離傳感器)
        【3. 其他光學(xué)系統(tǒng)】
        PSV-300/400 (掃描式激光測振儀,已被PSV-500系列取代)
        VibroFlex (某些舊型號)



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