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德國SUSS MicroTec主要產(chǎn)品:
一、旋轉(zhuǎn)涂膠機和噴霧涂膠機:
自動涂膠機與顯影機:ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
半自動涂膠與顯影機:RCD8、ECD8、HP8熱板
手動涂膠機與顯影機:LabSpin6 / LabSpin8
二、噴墨打印機
JETxSM24噴墨打印機、JETx噴墨打印機、LP50打印機
三、光刻機、掩模對準(zhǔn)機
全自動:MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
半自動:MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
手動:MJB4
四、測量系統(tǒng)
全自動:DSM8/200 Gen2
五、晶圓結(jié)合系統(tǒng)、自動貼片機
全自動:XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
半自動: BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
六、光掩模設(shè)備
全自動:MaskTrack Pro系列、ASx Serie
半自動:HMx Serie
七、投影掃描光刻機
全自動:DSC300 Gen3
蘇斯微SUSS MicroTec 晶圓鍵合系統(tǒng)
德國suss AS8勻膠機,HP8熱板還有l(wèi)abspin8(labspin6)勻膠機

德國Polytec掃描儀、激光測振儀、光學(xué)頭、光學(xué)振動測量系統(tǒng)主要型號:
激光振動計、光學(xué)測振儀
激光多普勒測振儀
激光測振計
(激光)多普勒振動傳感器
非接觸式振動傳感器/測量儀
光學(xué)振動測量系統(tǒng)
【一】單點式激光測振儀
CLV-2534-3激光測振儀
IVS-500 工業(yè)用激光測振儀
VFX-F-110激光測振儀
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪聲光學(xué)頭
VibroGo便攜式激光測振儀
【二】全場掃描式激光測振儀
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全場掃描式激光測振儀
PSV QTec 3D超低噪聲三維掃描式激光測振儀
PSV QTec超低噪聲掃描式激光測振儀
ROBOVIB 機器人測振站
PSV-500-3D 掃描式激光測振儀:PSV-500-3D-H、PSV-500-3D-M、PSV-500-3D-HV
PSV-500 掃描式激光測振儀:PSV-500-B增強型、PSV-500-B高分率型、PSV-500-H、PSV-500-M、PSV-500-HV
MPV-800 多點式激光測振儀
【三】特殊應(yīng)用激光測振儀
VibroFlex Range 超遠距離激光測振儀
RLV-5500 旋轉(zhuǎn)式激光測振儀
HSV-100 高速型激光測振儀
IPV-100 面內(nèi)激光測振儀
【四】顯微式激光測振儀
MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀
MSA-600 顯微式激光測振儀 :MSA-600-M (標(biāo)準(zhǔn)) MSA-600-V (帶寬擴展)
MSA-100-3D顯微式測振儀
MSA-050顯微式激光測振儀
【五】形貌測量儀
Pro.Surf大視場3D輪廓儀
Micro.View白光干涉儀
關(guān)于 Polytec已停產(chǎn)的型號(具體停產(chǎn)時間可能因產(chǎn)品線更新而異):
【1. 激光測振儀(Laser Vibrometers)】
OFV-5000系列 (早期型號,已被OFV-5500/OFV-6000替代)
OFV-3000系列 (較老版本)
RSV-150 (遠程振動傳感系統(tǒng),部分功能由新系統(tǒng)替代)
【2. 工業(yè)傳感器(Industrial Sensors)】
ILD 1400/1700 (舊版激光位移傳感器)
ILD 2200 (早期型號,后續(xù)被ILD 2300等替代)
OADM 12/I (舊版光學(xué)距離傳感器)
【3. 其他光學(xué)系統(tǒng)】
PSV-300/400 (掃描式激光測振儀,已被PSV-500系列取代)
VibroFlex (某些舊型號)