德國SUSS顯影機ACS300 Gen3

產品價格：	1000/人民幣
最后更新：	2025-12-08 11:26:54
產品產地：	德國
發貨地：	廣東深圳市 (發貨期：當天內發貨)
供應數量：	不限
有效期：	長期有效
最少起訂：	1
瀏覽次數：	10

公司基本資料信息

深圳市現代豪方儀器儀表科技有限公司
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產品詳細說明

代理德國蘇斯微SUSS MicroTec噴墨打印機、涂膠機與顯影機、光刻機、貼片機、俺膜機
ACS300 Gen3自動涂膠與顯影機
詳詢請致電：吳工 132，4667.5433

ACS300 Gen3自動涂膠與顯影機：用于先進封裝應用的強大解決方案
ACS300 Gen3作為模塊化系統，是為滿足量產環境而專門設計的。它提供了復雜的涂膠、顯影和烘烤功能，可輕松地適應各種工藝。其最大程度的工藝控制，有效地支持廣泛的使用領域。結合這一優點，再加上有8個旋涂器模塊，該系統仍然是市面上占地面積最小的系統；這些品質都有利于減小購置成本，使得該設備對于任何具有挑戰性的先進封裝應用(如圓片級芯片封裝、扇出圓片級封裝、銅柱倒裝芯片封裝和3D封裝)都不可或缺。
亮點：
占地面積小
高效的化學品處理
靈活的工藝配置
高吞吐量的能力
穩定的工藝結果
介紹：
1、一個工具適用于所有先進的包裝應用
通過在一個系統中提供多種工藝技術，如光阻劑、聚酰亞胺和PBO涂層，ACS300 Gen3提供了高效率。它還為每個模塊提供了多達五種抗蝕劑或四種顯影劑的能力，以實現的工藝靈活性。此外，通用的熱板設計消除了對不同抗蝕劑或PI類型的特定熱板的需要。ACS300 Gen3允許同時處理200和300毫米的晶圓，而不需要進行機械轉換。
2、一致的過程監控導致高產量
ACS300 Gen3可以實現高效的模塊堆疊，從而節省了潔凈室中昂貴的空間。多達12個模塊可以方便地在三層模塊系統中相互排列，而該工具的多種節省化學品的功能實現了進一步的節約。無論是SUSS MicroTec公司專有的GYRSET技術、新穎的分配技術還是化學品再循環系統，該工具都能經濟地使用化學品，并符合最嚴格的可持續發展標準。
3、在吞吐量方面表現出色
當使用可選的第二個機器人系統時，ACS300 Gen3在三步流程中達到了高達240 wph的吞吐率。一個先進的過程控制系統優化了處理時間：調度算法可以有選擇地交換，以確保瓶頸步驟的時間段得到充分的利用。此外，諸如在高溫下的顯影劑和流動模式的特點也減少了加工時間。
4、一致的過程監控導致高產量
使ACS300 Gen3脫穎而出的是其高度的過程控制。它可以連續記錄所有相關參數的過程數據，如溫度、流量、壓力、體積、清洗率等。數據記錄允許精確調整過程參數、可重復的結果和快速識別潛在的薄弱點。過程變得更加穩定和可重復，產量也可以顯著提高

德國SUSS MicroTec主要產品：
一、旋轉涂膠機和噴霧涂膠機：
自動涂膠機與顯影機：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
半自動涂膠與顯影機：RCD8、ECD8、HP8熱板
手動涂膠機與顯影機：LabSpin6 / LabSpin8
二、噴墨打印機
JETxSM24噴墨打印機、JETx噴墨打印機、LP50打印機
三、光刻機、掩模對準機
全自動：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
半自動：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
手動：MJB4
四、測量系統
全自動:DSM8/200 Gen2
五、晶圓結合系統、自動貼片機
全自動：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
半自動： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
六、光掩模設備
全自動：MaskTrack Pro系列、ASx Serie
半自動：HMx Serie
七、投影掃描光刻機
全自動：DSC300 Gen3
蘇斯微SUSS MicroTec 晶圓鍵合系統
德國suss AS8勻膠機，HP8熱板還有labspin8（labspin6）勻膠機

德國Polytec掃描儀、激光測振儀、光學頭、光學振動測量系統主要型號：
激光振動計、光學測振儀
激光多普勒測振儀
激光測振計
（激光）多普勒振動傳感器
非接觸式振動傳感器/測量儀
光學振動測量系統
【一】單點式激光測振儀
CLV-2534-3激光測振儀
IVS-500 工業用激光測振儀
VFX-F-110激光測振儀
VibroFlex QTec VFX-I-160超低噪聲光學頭
VibroGo便攜式激光測振儀
【二】全場掃描式激光測振儀
VibroScan QTec Xtra、VibroScan QTec Xtra 3D全場掃描式激光測振儀
PSV QTec 3D超低噪聲三維掃描式激光測振儀
PSV QTec超低噪聲掃描式激光測振儀
ROBOVIB 機器人測振站
PSV-500-3D 掃描式激光測振儀：PSV-500-3D-H、PSV-500-3D-M、PSV-500-3D-HV
PSV-500 掃描式激光測振儀：PSV-500-B增強型、PSV-500-B高分率型、PSV-500-H、PSV-500-M、PSV-500-HV
MPV-800 多點式激光測振儀
【三】特殊應用激光測振儀
VibroFlex Range 超遠距離激光測振儀
RLV-5500 旋轉式激光測振儀
HSV-100 高速型激光測振儀
IPV-100 面內激光測振儀
【四】顯微式激光測振儀
MSA-650 IRIS顯微式激光測振儀
MSA-600 顯微式激光測振儀：MSA-600-M (標準) MSA-600-V (帶寬擴展)
MSA-100-3D顯微式測振儀
MSA-050顯微式激光測振儀
【五】形貌測量儀
Pro.Surf大視場3D輪廓儀
Micro.View白光干涉儀

關于 Polytec已停產的型號（具體停產時間可能因產品線更新而異）：
【1. 激光測振儀（Laser Vibrometers）】
OFV-5000系列（早期型號，已被OFV-5500/OFV-6000替代）
OFV-3000系列（較老版本）
RSV-150 （遠程振動傳感系統，部分功能由新系統替代）
【2. 工業傳感器（Industrial Sensors）】
ILD 1400/1700 （舊版激光位移傳感器）
ILD 2200 （早期型號，后續被ILD 2300等替代）
OADM 12/I （舊版光學距離傳感器）
【3. 其他光學系統】
PSV-300/400 （掃描式激光測振儀，已被PSV-500系列取代）
VibroFlex （某些舊型號）

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