scorpION3 靜電消除離子棒 Simco-Ion

簡介

Simco-Ion scorpION3 靜電消除離子棒的設計是專為滿足現今半導體制程的高潔凈度和應用性能要求，也可符合一般電子制造的需要。它獨特的結合了輔助吹氣功能，"平衡電壓峰值削減"技術，多款靜電針尖材料，和不同棒長的選擇，使其應用廣泛。它可以降低產品表面靜電，減低靜電放電的發生；也能減少制造過程中，空氣中的微塵顆粒污染物降落在產品表面。離子棒提供兩種不同的靜電針尖材料，符合半導體制程潔凈度標準的單晶硅和一般應用的鎢。

有輔助吹氣功能的離子棒，可以應用在沒有層流風的環境。提供的干燥壓縮空氣 (CDA) 氣流，吹過靜電針尖，把離子傳遞到更遠的產品表面，同時形成"氣流護套"圍繞靜電針尖，可延長它的清潔周期。

特點

有輔助吹氣功能的型號      

平衡電壓峰值削減技術      

多根離子棒可串連并能設定"主/從"功能

優點

提供更遠的工作距離，適用于沒有HEPA層流風的環境，以及能延長針尖清潔期

在脈沖直流工作模式下，可降低離子平衡電壓的波幅以符合應用要求

透過可進接的主離子棒，能調整和監控的機臺設備里面其他"從"離子棒的設置參數

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