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        3軸機械臂_全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送

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        產品價格: /人民幣 
        最后更新: 2022-08-11 15:45:45
        產品產地: 本地
        發貨地: 本地至全國 (發貨期:當天內發貨)
        供應數量: 不限
        有效期: 長期有效
        最少起訂: 1
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      1. 公司基本資料信息
        • 深圳市衡鵬瑞和科技有限公司
        • 劉慶先生 銷售經理
        • 會員[試用會員產品]
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        產品詳細說明
        3軸機械臂_全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送


        采用AC伺服電機的3軸機械臂特點: 
        超潔凈無塵間用300mm晶圓對應MCR3000C系列
        適用于半導體生產設備內部,檢測設備等的晶圓搬運
        全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送的需求
        比MHR系列具有更好的性價比優勢
        機械手臂標準臂長:160mm, 200mm
        適應設備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式
        配備動作監視器
        控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
        全軸采用絕對值編碼器規格的AC伺服電機
        S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓
        晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式
        手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質
        可以針對被搬運物體種類,設備布局等要求提供手指





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