真空水平多關節型5軸潔凈機械手臂

產品價格：	/人民幣
最后更新：	2022-06-30 11:05:09
產品產地：	本地
發貨地：	本地至全國 (發貨期：當天內發貨)
供應數量：	不限
有效期：	長期有效
最少起訂：	1
瀏覽次數：	155

公司基本資料信息

深圳市衡鵬瑞和科技有限公司
劉慶先生銷售經理
會員[試用會員產品]
郵件sales@hapoin.com
手機13923818033
電話
傳真
地址深圳市南山區南頭街道藝園路133號田廈1C產業園3018

產品詳細說明

真空水平多關節型5軸潔凈機械手臂

真空水平多關節型5軸潔凈機械手臂特點：
5軸真空水平多關節型潔凈機械手臂GTVCR5000系列
實現了下降價格，但是也可以維持以前的GTVHR5000系統的機能，功能
能夠在真空環境下對應并排擺放的腔室工作臺布局，能夠靈活地適應不同類型設備的多種布局
通過優化機械手臂的空間尺寸，有利于減小真空腔室的內部容積
非常適合inline設備
機械手臂標準臂長：280mm, 330mm
手臂關節處使用磁流體密封裝置
真空密封：磁流體密封裝置以及波紋管
提高潔凈度的方法：手臂內部排氣口安裝5μm級過濾器
雙手指機構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
配備動作監視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用絕對值編碼器規格的AC伺服電機
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓
手指材質：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質
晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式，利用O型膠圈的摩擦力來保持位置

真空水平多關節型5軸潔凈機械手臂基本參數：
使用環境潔凈間內的大氣：溫度 15°C-40°C
工藝室溫度 450°C
手臂單臂
到達距離 635mm (手臂第3關節中心基準)
升降軸行程 60mm
可搬運質量 4kg (手臂第3關節處基準)

如需詳細產品參數請聯系我們衡鵬
http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/gtvcr5330.htm

真空水平多關節型5軸潔凈機械手臂相關產品：
衡鵬供應
3軸圓柱坐標潔凈機械手臂/4軸圓柱坐標潔凈機械手臂

在線詢盤/留言 請仔細填寫準確及時的聯系到你!

您的姓名：	您的姓名沒有寫*	預計需求數量：	* 請輸入整數請填寫數量
聯系手機：	*請填寫你的手機號碼	移動電話或傳真：
電子郵件：	*郵箱格式不正確請填寫你的電子郵件	所在單位：
咨詢內容：	我想了解：《真空水平多關節型5軸潔凈機械手臂》的詳細信息.請商家盡快與我聯系。 * 請填相關內容

更多..本企業其它產品