| 產品參數 |
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| 品牌 | 元祿光電 |
| 刻蝕最小線寬 | ＜10 um（最大可以去除95以上的氧化物鍍層） |
| 激光器 | 納秒綠光532nm、皮秒綠光532nm、皮秒紫外355nm、飛秒紅外1030nm、飛秒綠光515nm、實驗室刻蝕機1064\/532nm |
| 整機精度 | ±15μm |
| 加工幅面 | 100*100\/200*200\/300*300\/400*300\/600*600\/600*900\/700*1400mm可選 可定制加工幅面 |
| 最小線寬 | ＜30μm\/＜10μm\/＜50um 最大可根據需要可全部去除鍍層材料，如P4清邊處理 |
| 聚焦光斑 | ＜30μm\/＜10μm\/＜50um |
| 工作臺定位精度 | ±3um\/±20μm |
| 激光器頻率調節范圍 | 30-150KHz\/1-1000KHz\/25-5000KHz\/1-2000KHz\/ |
| 工作臺重復精度 | ±1um\/±20μm |
| CCD自動定位精度 | ±3um\/±10μm |
| 刻蝕速度 | 最大刻蝕速度4000mm\/s（單線） |
| 設備尺寸 | 1200*1200*1700mm（300*00mm幅面約1000 大尺寸及雙光路 \/1280*1400*1750mm（300*300mm幅面內）約1800Kg 皮秒\/飛秒 電話聯系 \/1800*1800*1750mm（600*600mm幅面內） 約2500kg皮秒\/飛秒 |
| 設備重量 | 3500kg |
| 功率 | 5W\/10W\/15W\/20W\/30W\/40W |
| 可處理文件格式 | 標準CAD DXF文件 |
| 振鏡 | 10\/14mm通光孔徑 |
| 聚焦鏡 | 40*40\/70*70\/110*110mm幅面（根據不同的應用場景選擇） |
| 擴束鏡 | 4X、2-8X可調、1.5X |
| 熱影響區 | ＜5μm\/＜3μm |
| 直線度 | ±10μm\/±5μm（最小可至±1μm）\/±20μm |
| Z軸電機行程 | 50mm（自動軟件控制）\/手動500mm |
| 設備功耗 | ＜2500W\/＜3000W\/＜1500W |
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 |
| 型號 | 納秒綠光ET200MG、飛秒紅外ET300IR-FS皮秒紫外ET300UV-PS、皮秒綠光ET300MGPS、飛秒綠光ET300MG-FS、實驗室刻蝕機 ET100IR\/ET100MG | |
